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快（kuài）速退火爐設備說（shuō）明
發布時間：
2023/09/25 20:11
快（kuài）速退火（huǒ）爐采用鹵素紅外線（xiàn）燈作為熱源，通過較快的升溫速度將晶（jīng）圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而（ér）晶圓或材（cái）料（liào）的部分缺（quē）陷，提高產品性能。快速退（tuì）火爐采用先進的微電腦控製係統和PID閉環控溫，可達（dá）到較高的控溫（wēn）精度和溫度（dù）均勻性，並（bìng）可根據用戶工藝（yì）要（yào）求配備真空室或多路（lù）氣體。快速退火爐（lú）主要由真空室、加熱室、進（jìn）氣係統、真空（kōng）係統、溫控係統、風冷係統、水（shuǐ）冷係統等組成。真空室：真空室是（shì）快速退火爐的空間，晶片在此進行快速熱處（chù）理。加（jiā）熱室：加熱室（shì）采用多顆紅外燈作為加熱元件，以耐高溫合（hé）金為框架，以高純（chún）為主體。進氣係統：真空室末端有（yǒu）進氣孔，采用（yòng）精確控製的（de）進氣口，以滿足某些特殊工藝的用氣要求。真空係統：真空泵與真空腔之間（jiān）裝有高真空電磁閥，可有效保證腔（qiāng）體的真（zhēn）空度（dù），同時防止氣體回流汙染腔體內已加工的工件。溫控係（xì）統：溫控係統由溫度傳感器、溫度控製器、電源調節器、可編程（chéng）控製器、PC機及各種（zhǒng）傳感器組成。風冷係統：真空室的冷卻是（shì）通（tōng）過（guò）進風係統向腔內充入惰性氣體，以加速熱處理工件的冷卻，達到工藝要求。水冷係統：水冷係統主要（yào）包括真空室、加熱室、各部件密（mì）封（fēng）圈（quān）的冷卻水。以上就是武漢嘉儀通科技有限公司小編收集的內容，如有需要請與我們聯係。公司集快速（sù）退火爐、熱電（diàn）性能測試、芯片晶圓熱處理、鍵（jiàn）合爐、熱（rè）氮化、薄膜（mó）熱（rè）導率、退火爐、去應力退火、金屬合金化、薄膜熱處理、熱氧化、係數的研發、市場（chǎng）和技術（shù）服務於一體。公司專注於薄膜材料物理性能測量儀器的自主研發，致力於為客戶提（tí）供薄膜材料的高（gāo）低溫環境試驗、熱、電等性（xìng）能（néng）測試分析（xī）的整體解決方案。公司始終堅（jiān）持自主研發與應用創新，擁有自己的（de）技術工程（chéng）師研發團隊，建有省級工程（chéng）實驗室、新型研發機構以及市級企業技術中心平台，擁有知識產權 ，主持承擔參與了 10 餘項（xiàng）科技（jì）攻關項目。
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